GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯
作者:标准资料网 时间:2024-05-02 10:30:06 浏览:8178
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基本信息
标准名称: | 电子工业用气体 高纯氯 |
英文名称: | Gases for electronic industry—High purity chlorine |
中标分类: | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
ICS分类: | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
发布日期: | 2003-03-05 |
实施日期: | 2003-08-01 |
首发日期: | 2003-03-05 |
作废日期: | 1900-01-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
提出单位: | 原化学工业部 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 光明化工研究设计院 |
起草人: | 孔祥芝、佘中玉 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2003-08-01 |
页数: | 平装16开, 页数:7, 字数:13千字 |
书号: | 155066.1-19715 |
适用范围
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。
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所属分类: 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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